? 扫描电镜(SEM)
? 透射电镜(TEM) ? 原子力显微镜(AFM) ? X射线衍射(XRD) ? 元素分析(EA) 显微分析技术—— 电子显微镜
一束电子射到试样上,电子与物质相互作用,当电子的运动方向被改变,称为散射
。
透射电子直接透射电子,以及弹性或非弹性散射的透射电子用于透射
电镜(TEM)的成像和衍射
二次电子入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损
失的那部分能量(30~50eV)激发核外电子脱离原子,能量
大于材料逸出功的价电子可从样品表面逸出,成为真空中的
自由电子,此即二次电子。在电场的作用下它可呈曲线运动
进入检测器,使表面凹凸的各个部分都能清晰成像。
二次电子试样表面状态非常敏感,能有效显示试样表面的
微观形貌;二次电子的分辨率可达5~10nm,即为扫描电镜
的分辨率。
二次电子的强度主要与样品表面形貌相关。二次电子和背
景散射电子共同用于扫描电镜(SEM)的成像。
当探针很细,分辨高时,基本收集的是二次电子而背景电
子很少,称为二次电子成像(SEI)。
背景散射电子入射电子穿达到离核很近的地方被反射,没有能量损失;既包括与原子核作用而形成的弹性背散射电子,又包括与样
品核外电子作用而形成的非弹性背散射电子,前者的份额远
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大于后者。
背散射电子反映样品表面的不同取向、不同平均原子量的
区域差别,产额随原子序数的增加而增加;利用背散射电子
为成像信号,可分析形貌特征,也可显示原子序数衬度而进
行定性成分分析。
特征X射线入射电子和原子中的内层电子发生非弹性散射作用而损失一
部分能量(几百个eV),激发内层电子发生电离,形成离
子,该过程称为芯电子激发。除了二次电子外,失去内层电
子的原子处于不稳定的较高能量状态,将依一定的选择定则
向能量较低的量子态跃迁,跃迁过程中发射出反映样品中元
…… …… 余下全文