烘箱选型报告
1 项目名称
“星用大阵列和弹用长阵列CCD”研保项目
2 设备名称
烘箱
3 工艺技术及参数要求
烘箱在光刻工艺中主要是通过气体携带的热气流去除潮气和对某些有机聚合物膜预固化、坚膜等作用。
颗粒增加数：（>0.5um ）<30，（0.2um～0.5um ）<100
氮气保护
可编程，温度最高可到250℃
4 推荐生产（翻新）厂家、型号及参数
推荐生产厂家：YAMATO公司
型号：DE610
参数：加热方式：强制送风循环
温度范围：室温+30 ℃ -- +260 ℃
温度调节精度：±0.3 ℃；温度分布精度：±2.5 ℃
最高温度到达时间：约60分钟
5 选型依据及理由
因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。烘箱的生产厂家国内和国外都比较多，用途也是多元化的，从价格角度考虑，则把国内生产的烘箱放在首位，因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些，价格很低很多。但光刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度，所以要考虑国外产品。国外半导体净化烘箱主要有Blue M、Despatch和YAMATO等。
国产烘箱有无锡通泽电子技术有限公司TZ-JH-BS不锈钢净化红外烘箱，适宜高分辨率光刻之前烘、坚膜等工艺。超级净化产品，无灰尘产生。配合高等级
净化匀胶室使用，也可单独使用。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特，极大减少了内腔热量的外传。箱门内外基本分离，外箱与内胆分离定位，所以在高温下外壳也不会发烫。采用数显温控系统，微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精确而稳定。可设定温度、时间。一经设定，加热过程自动进行，不需干预。其特点具有读数清晰、调节方便、控温精度高、安全可靠。超温报警并自动切断加热电源。箱体采用优质冷轧钢板，表面静电喷塑，涂层坚硬牢固，具有极强的防锈能力。工作室为进口304 不锈钢板，表面状态为镜面，圆角造型，无发尘材料，达到高净化标准。发热元件为远红外。发热效率高。热惯性小。烘箱装有进气口和排气口装置，便于调节控制保护气体流量。工作室内放有可调整位置（抽动）的2 层载物网板，功率2400 W。
美国的Blue M品牌146系列净化烘箱通过机械对流方式可以达到100级甚至10级的净化度；并设有大量的可用程序，可以用来对有机聚合物固化、潮气烘干以及其它多种工艺。大型量规的钢材外观、不锈钢腔体；外表都是不少于型16的钢材，4英寸厚的玻璃纤维绝缘层，用硅树脂作为门密封的材料；腔体是整块的增强304型不锈钢。这样的材料以及全焊接和密封的结构，保证了颗粒物净化要求；有工艺中产生的气体的排气系统，高级的循环高效微粒空气过滤器，可达到100级甚至10级的净化空间，所有过滤的空气不断的重复过滤以及封闭的结构，不会对净化厂房内的空气造成影响。Blue M146系列净化烘箱水平的热气流保证了烘箱在全负载的情况下的均匀性，所有的不锈钢的冷却旋管，都不会污染周围环境，可以用控制冷却水的方法来处理一些接近室温的操作。Blue M146系列净化烘箱具有长时间工作正当很小的加热元件，加热元时氧化铝瓷材料对净化环境不会产生影响。Blue M146系列净化烘箱应用的温度可达250℃，控制精度可达±0.5℃，均匀度在±1℃。Blue M146系列没有新产品，翻新公司也没有库存，供货期长，售后保障也有限。
美国Despatch公司LCC2-14净化烘箱，同样能通过高效过滤器100%的空气保证整个工艺过程中保持不低于100级的洁净度，而且有专门的仪表检测高效过滤器的压降，了解何时该更换过滤器；可以通氮气，降低氧含量；具有快速降温的冷凝水循环；而且两者都可以通过可编程的软件控制。Protocol Plus微型处理器使对烘箱的控制更方便。内外均为不锈钢材料，腔体内切痕都是连续熔焊的，
保护腔体不受沾污；4英寸厚的绝缘层减少热散失；有可以编程设计的门锁，防止工艺过程中错误操作，门打开时会关掉加热器；温度的控制精度可达±0.5 °C， 100级的洁净度下，温度的均匀性是:±1℃在 100℃；±2°C 在 200℃；±3℃在260℃。功耗16kw。Despatch公司烘箱比较先进、自动化程度高，但存在的问题在于如果要求更高的洁净度就要牺牲温度的均匀性。LCC2-14N-3净化烘箱的报价为31,140美元。
日本YAMATO公司的DE610烘箱同样可以达到100级甚至10级洁净度，但因日本对中国的政策，提供给我们的只能达到100级。材料内腔是SUS304不锈钢，断热材料是剥离绒，外材是冷轧压延钢板，用三聚氰胺烧付涂装；耐热高效过滤器，对0.3微米的粒子有99.97%以上的捕获率，过滤器材料外层金属，铝合金隔层，玻璃纤维过滤网；用微电脑进行PID控制温度，LED数码显示；最大十六段编程，可自动停止、自动开始；加热器回路控制使用三合零交叉方式，温控传感器异常，加热器短线，三合加热器短路以及过升防止器的自我诊断功能；3.6Kw低功耗。对于我们的要求也可以完全拿到公司测试，可以保证质量。
DE610控制面板 DE610内腔 高效过滤器 对于烘箱的购买，对于我们光刻的高要求，国内厂家可靠性可能要低点，如果选择最好能实际考察；可以买翻新的Blue M146系列净化烘箱，但翻新设备在备件方面和售后保障方面比较困难；对于美国的Despatch公司产品，性能优良，自动化程度高，价格昂贵。如果买YAMATO公司的DE610烘箱，因为在重庆就有工厂，可实际考察，我们也可以在DE610的基础上改进某些性能，更符合我们的实际，相对翻新设备使用的寿命也相对要长。
YAMATO DE460 Blue M 1406 Despach Lcc2-14N 6 推荐随机备品备件（含备品备件理由）
N2进气口的过滤器需要购买备件
烘箱的加热器做为易损件也要备一套
7 可维修性分析
国内外的烘箱属于成熟技术，故障率极低，控温部件基本不需要维修，加之大公司售后服务覆盖范围广泛，可以提供相应的技术支持等。
8 水、电、气、排风、排水、净化环境等要求
6寸0.5微米生产线对洁净度提出了更高的要求，烘箱设备应放在光刻间，应该要求10级以上的洁净度。
烘箱设备外形尺寸：1156 mm（长）×850 mm（宽）×1760 mm（高）重270Kg。 电源：AC200V、3φ、50Hz、12.5A或AC380V、3φ、60Hz、7A。 氮气：50～80psi； 排气口外径61mm
9 估价
YAMATO公司DE610烘箱般报价￥185,000。
10 设备招标方案或不招标理由
11 其他需说明事项
设备维修人员（签字）： 工艺人员（签字）：
设备维修部门领导（签字）： 研究室领导（签字）：
第二篇：如何设计全自动快速八篮恒温烘箱项目可行性研究报告(技术工艺+设备选型+财务概算+厂区规划)标准方案
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如何设计全自动快速八篮恒温烘箱项目可行性研究报告（技术工艺+
设备选型+财务概算+厂区规划）标准方案
【编制机构】：博思远略咨询公司（360投资情报研究中心）
【研究思路】：
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【关键词识别】：1、全自动快速八篮恒温烘箱项目可研2、全自动快速八篮恒温烘箱市场前景分析预测3、全自动快速八篮恒温烘箱项目技术方案设计4、全自动快速八篮恒温烘箱项目设备方案配置5、全自动快速八篮恒温烘箱项目财务方案分析6、全自动快速八篮恒温烘箱项目环保节能方案设计7、全自动快速八篮恒温烘箱项目厂区平面图设计8、全自动快速八篮恒温烘箱项目融资方案设计 9、全自动快速八篮恒温烘箱项目盈利能力测算10、项目立项可行性研究报告11、银行贷款用可研报告12、甲级资质13、全自动快速八篮恒温烘箱项目投资决策分析
【应用领域】：
【全自动快速八篮恒温烘箱项目可研报告详细大纲——20xx年发改委标准】：
第一章全自动快速八篮恒温烘箱项目总论
1.1 项目基本情况
1.2 项目承办单位
1.3 可行性研究报告编制依据
1.4 项目建设内容与规模
1.5 项目总投资及资金来源
1.6 经济及社会效益
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1.7 结论与建议
第二章全自动快速八篮恒温烘箱项目建设背景及必要性
2.1 项目建设背景
2.2 项目建设的必要性
第三章全自动快速八篮恒温烘箱项目承办单位概况
3.1 公司介绍
3.2 公司项目承办优势
第四章全自动快速八篮恒温烘箱项目产品市场分析
4.1 市场前景与发展趋势
4.2 市场容量分析
4.3 市场竞争格局
4.4 价格现状及预测
4.5 市场主要原材料供应
4.6 营销策略
第五章全自动快速八篮恒温烘箱项目技术工艺方案
5.1 项目产品、规格及生产规模
5.2 项目技术工艺及来源
5.2.1 项目主要技术及其来源
5.5.2 项目工艺流程图
5.3 项目设备选型
5.4 项目无形资产投入
第六章全自动快速八篮恒温烘箱项目原材料及燃料动力供应
6.1 主要原料材料供应
6.2 燃料及动力供应
6.3 主要原材料、燃料及动力价格
6.4 项目物料平衡及年消耗定额
第七章全自动快速八篮恒温烘箱项目地址选择与土建工程
7.1 项目地址现状及建设条件
7.2 项目总平面布置与场内外运
7.2.1 总平面布置
7.2.2 场内外运输
7.3 辅助工程
7.3.1 给排水工程
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7.3.2 供电工程
7.3.3 采暖与供热工程
7.3.4 其他工程（通信、防雷、空压站、仓储等）
第八章节能措施
8.1 节能措施
8.1.1 设计依据
8.1.2 节能措施
8.2 能耗分析
第九章节水措施
9.1 节水措施
9.1.1 设计依据
9.1.2 节水措施
9.2 水耗分析
第十章环境保护
10.1 场址环境条件
10.2 主要污染物及产生量
10.3 环境保护措施
10.3.1 设计依据
10.3.2 环保措施及排放标准
10.4 环境保护投资
10.5 环境影响评价
第十一章劳动安全卫生与消防
11.1 劳动安全卫生
11.1.1 设计依据
11.1.2 防护措施
11.2 消防措施
11.2.1 设计依据
11.3.2 消防措施
第十二章组织机构与人力资源配置
12.1 项目组织机构
12.2 劳动定员
12.3 人员培训
第十三章全自动快速八篮恒温烘箱项目实施进度安排
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13.1 项目实施的各阶段
13.2 项目实施进度表
第十四章全自动快速八篮恒温烘箱项目投资估算及融资方案 14.1 项目总投资估算
14.1.1 建设投资估算
14.1.2 流动资金估算
14.1.3 铺底流动资金估算
14.1.4 项目总投资
14.2 资金筹措
14.3 投资使用计划
14.4 借款偿还计划
第十五章全自动快速八篮恒温烘箱项目财务评价
15.1 计算依据及相关说明
15.1.1 参考依据
15.1.2 基本设定
15.2 总成本费用估算
15.2.1 直接成本估算
15.2.2 工资及福利费用
15.2.3 折旧及摊销
15.2.4 修理费
15.2.5 财务费用
15.2.6 其它费用
15.2.7 总成本费用
15.3 销售收入、销售税金及附加和增值税估算 15.3.1 销售收入估算
15.3.2 增值税估算
15.3.2 销售税金及附加费用
15.4 损益及利润及分配
15.5 盈利能力分析
15.5.1 投资利润率，投资利税率
15.5.2 财务内部收益率、财务净现值、投资回收期 15.5.3 项目财务现金流量表
15.5.4 项目资本金财务现金流量表
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15.6 不确定性分析
15.6.1 盈亏平衡
15.6.2 敏感性分析
第十六章经济及社会效益分析
16.1 经济效益
16.2 社会效益
第十七章全自动快速八篮恒温烘箱项目风险分析
17.1 项目风险提示
17.2 项目风险防控措施
第十八章全自动快速八篮恒温烘箱项目综合结论
第十九章附件
1、公司执照及工商材料
2、专利技术证书
3、场址测绘图
4、公司投资决议
5、法人身份证复印件
6、开户行资信证明
7、项目备案、立项请示
8、项目经办人证件及法人委托书
10、土地房产证明及合同
11、公司近期财务报表或审计报告
12、其他相关的声明、承诺及协议
13、财务评价附表
《全自动快速八篮恒温烘箱项目可行性研究报告》主要图表目录 图表项目技术经济指标表
图表产品需求总量及增长情况
图表行业利润及增长情况
图表 2013-20xx年行业利润及增长情况预测
图表项目产品推销方式
图表项目产品推销措施
图表项目产品生产工艺流程图
图表项目新增设备明细表
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图表主要建筑物表
图表主要原辅材料品种、需要量及金额
图表主要燃料及动力种类及供应标准
图表主要原材料及燃料需要量表
图表厂区平面布置图
图表总平面布置主要指标表
图表项目人均年用水标准
图表项目年用水量表
图表项目年排水量表
图表项目水耗指标
图表项目污水排放量
图表项目管理机构组织方案
图表项目劳动定员
图表项目详细进度计划表
图表土建工程费用估算
图表固定资产建设投资单位：万元
图表行业企业销售收入资金率
图表投资计划与资金筹措表单位：万元
图表借款偿还计划单位：万元
图表正常经营年份直接成本构成表
图表逐年直接成本
图表逐年折旧及摊销
图表逐年财务费用
图表总成本费用估算表单位：万元
图表项目销售收入测算表
图表销售收入、销售税金及附加估算表单位：万元 图表损益和利润分配表单位：万元
图表财务评价指标一览表
图表项目财务现金流量表单位：万元
图表项目资本金财务现金流量表单位：万元 图表项目盈亏平衡图
图表项目敏感性分析表
图表敏感性分析图
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图表项目财务评价主要数据汇总表
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【完】