电涡流传感器实验
实验目的
1 掌握电涡流传感器的基本结构和工作原理。
2 通过实验了解不同材料对电涡流传感器特性的影响。
3 通过电涡流方法测量振幅、重量、电机转速，掌握电涡流传感器的实际应用技术。
4 掌握电涡流传感器的静态标定方法，通过实验进行电涡流传感器的静态标定。
实验原理
电涡流传感器由平面线圈和金属片组成。当线圈中通以高频交变电流后，与其平行的金属片上受感应而产生涡旋状电流，这种现象称为涡流效应。产生的感应电流，又称为电涡流。电涡流传感器正是基于这种涡流效应而工作的。如图1所示，一个通有交变电流
的线圈，置于一块导电材料附近，由于交变电流的存在，在线圈周围就产生一个交变磁场
，导电材料内便产生电涡流
，电涡流也将产生一个新磁场
，与方向相反，因而抵消部分原磁场，从而导致线圈的等效阻抗发生变化。可见，线圈与导体之间存在着磁的联系，若把导电材料看成一个具有内阻的线圈，则图1可用图2所示的等效电路表示。
、
分别为线圈和导电材料的等效电阻，
、
分别为线圈和导电材料的等效电感。M为互感参数，表征线圈与导电材料之间磁联系强弱。
由图2可列出下列方程
（1）
解式(1)，可得线圈的等效阻抗
（2）
前两项为等效电阻，第三项为等效电抗，第三项中括号内为等效电感。线圈的品质因数
为
（3）
由上不难看出，金属导体的电阻率ρ、磁导率μ、线圈与金属导体之间的距离x以及线圈激励电流的角频率ω等参数，都将通过电涡流效应与线圈等效阻抗发生联系。或者说．线圈等效阻抗是这些参数的函数，即
（4）
若能保持上述
四个参数中的任意三个参数恒定，则等效阻抗将与第四个参数之间建立一一对应的关系，构成了从第四个参数到等效阻抗之间的转换关系。
利用位移x作为变换量，可以非接触的测量位移、厚度、振动、转速等，也可做成接近开关等。图3为电涡流位移传感器的几种具体应用。图(a)为轴的轴向位移的测量，图(b)为先导阀或换向阀位移测量，图(c)为金属热膨胀系数测量。测量位移范围可从0~1mm到0~30mm．分辨率为满量程的0.1%。
图3 电涡流位移传感器的几种具体应用
图4为利用电涡流传感器测量转速的电路框图。在被测对象上开一条或数条槽或做成齿状，旁边安装一个电涡流式传感器。当转轴转动时，传感器周期地改变着与转轴之间的距离，于是它的输出也周期性地发生变化。此输出信号经放大、变换后，可以用频率计测出其变化频率，从而测出转轴的转速。若转轴上开Z个槽，频率计读数为f （单位为Hz ) ，则转轴的转速n（单位为r/min ）的数值为n=60f/Z。
图4 利用电涡流传感器测量转速
实验仪器
CSY10B型传感器系统实验仪（电涡流传感器、电涡流变换器、测微头、电压/频率表、差动放大器、电桥、测速电机及转盘）、三种金属涡流片（铁、铜、铝）、示波器、砝码等
实验内容与步骤
一、 电涡流传感器的传感特性和静态标定
1、 按照图5安装好电涡流线圈和金属涡流片，注意二者必须保持平行（必要时可稍许调整探头角度）。安装好测微头，将电涡流线圈接入涡流变换器输入端，涡流变换器输出端接电压表20V档。
2、 开启仪器电源，用测微头将电涡流线圈和涡流片分开一定距离，此时输出端有一电压值输出。将示波器接涡流变换器输入端，观察电涡流传感器的高频波形。信号频率约1MHz。
3、用测微头带动振动平台使平面线圈完全贴紧金属涡流片，此时涡流变换器的输出电压为零，涡流变换器中的振荡电路停振。
4、 旋动测微头是平面线圈离开金属涡流片，从电压表开始有读数起每位移0.25mm记录一个读数，并用示波器观察高频振荡波形。将被测位移X、输出电压V的读数填入下表，作出V～X曲线，指出线性范围，找出其最佳工作点并求出灵敏度。
表格1 被测位移X与输出电压V关系
注意事项：
当涡流变换器接入电涡流线圈处于工作状态时，接入示波器会影响线圈的阻抗，使变换器的输出电压减小（如果示波器探头阻抗太小，甚至会使变换器电路停振而无输出），或是使传感器在初始状态有一死区。
二、被测材料对电涡流传感器特性的影响
1、 按内容一的方法重新安装好传感器，开启电源。
2、 分别对铁、铜、铝被测体进行测量，记录被测位移X、输出电压V的读数。
3、 依据所记录的数据，在同一个坐标下作出涡流传感器对不同被测材料的V～X曲线。
4、 分别找出传感器对各种被测材料的线性范围、灵敏度、最佳工作点，并进行比较。可得出结论：对于不同被测材料，涡流传感器的灵敏度、线性范围都不相同，必须分别进行标定。
三、电涡流传感器的振幅测量
1、 按图6接线（具体接线参见后面的附图2）。
图6 电涡流传感器称重
根据实验内容二的结果，将平面线圈安装在最佳工作点，直流稳压电源置±10V档，差动放大器在这里仅作为一个电平移动电路，增益置最小处（1倍）。调节电桥电路的WD，使系统输出为零。
2、 接通“激振器I”， 调节低频振荡器频率，使其在10～30Hz范围内变化，用示波器观察涡流变换器输出波形，记下VP-P值，同时利用实验内容一的结果求出距离变化范围XP-P。3、可同时用双踪示波器的另一通道观察涡流变换器输入端的调幅波。
4、变化低频振荡器频率和幅值，提高振动圆盘振幅，用示波器可以看到变换器输出波形有失真现象，这说明电涡流式传感器的振幅测量范围是很小的。
四、用电涡流传感器称重
1、 按图6接线（具体接线参见后面的附图2）。
2、 差动放大器增益调为1，输出接电压表20V档。利用实验内容一的结果，将平面线圈安装在线性工作范围的起始点。调整电桥，使系统输出为零。
3、 在测量平台中间逐步增加砝码，记录被测重量W和输出电压值V。
4、 依据所测量的对应数据，作出传感器特性（V～W）曲线，计算灵敏度。
5、 取下砝码，放上未知重量之物品，根据标定曲线计算被测物重量，并计算绝对误差、相对误差、引用误差、精度等级。
五、电涡流传感器测量电机转速
1、 将电涡流传感器线圈支架转一角度，安装于电机转盘上方，线圈与转盘面平行，在不摩擦的前提下距离越近越好。
2、 如图7所示，电涡流线圈与涡流变换器相接，涡流变换器输出接示波器，开启电机开关，调节转速，同时调整平面线圈在转盘上方的位置，通过示波器观察，使变换器输出的脉动波对称。
3、 仔细观察示波器两相邻波形的峰值是否一致，如有差异，说明平面线圈与转盘或者不平行、或者电机本身存在振动。利用已经获得的铁材料涡流片特性曲线可大致判断转盘面与线圈的不平行度。
4、 将电压/频率表2kHz档接入涡流变换器输出端，读取脉动波形变化的周期数值，并与示波器读取的频率作比较。转盘的转速=脉动波形数÷2。
注意事项
1、 认真检查电路接线，开关倒向，仪表量程等，各信号源之间严禁用连接线短路，确认无误后再接通电源。
2、 在实验过程中，如发现异常火花、异声、异味、冒烟或过热等现象，应立刻断开电源开关，保持现场，请指导教师一起检查原因。
3、 实验结束应先断开电源开关，然后才能拆线，切忌带电插拔导线。
4、 离开实验室前应整理好实验仪器、连接导线等实验器材。
附 图
第二篇：5电涡流传感器实验_20xx
209综合实验
实验五 电涡流传感器实验
实验目的
1 掌握电涡流传感器的基本结构和工作原理。
2 通过实验了解不同材料对电涡流传感器特性的影响。
3 通过电涡流方法测量振幅、重量、电机转速，掌握电涡流传感器的实际应用技术。 4 掌握电涡流传感器的静态标定方法，通过实验进行电涡流传感器的静态标定。 实验原理
电涡流传感器由平面线圈和金属片组成。当线圈中通以高频交变电流后，与其平行的金属片上受感应而产生涡旋状电流，这种现象称为涡流效应。产生的感应电流，又称为电涡流。电涡流传感器正是基于这种涡流效应而工作的。如图1所示，一个通有交变电流I1的
置于一块导电材料附近，由于交变电流的存在，在线圈周围就产生一个交变磁场H1，线圈，
导电材料内便产生电涡流I2，电涡流I2也将产生一个新磁场H2，H1与H2方向相反，因而抵消部分原磁场H1，从而导致线圈的等效阻抗发生变化。可见，线圈与导体之间存在着磁的联系，若把导电材料看成一个具有内阻的线圈，则图1可用图2所示的等效电路表示。????????
R1、R2分别为线圈和导电材料的等效电阻，L1、L2分别为线圈和导电材料的等效电感。M为互感参数，表征线圈与导电材料之间磁联系强弱。
图1 电涡流效应图 2 电涡流效应的等效电路
由图2可列出下列方程
??????R1I1?j?L1I1?j?MI2?U （1） ??????R2I2?j?L2I2?j?MI1?0
解式(1)，可得线圈的等效阻抗Z
?2M2?2M2
?j?[L1?L22]?R?j?L （2） Z???R1?R222222?R??LR?L2222IU
1?
209综合实验
前两项为等效电阻，第三项为等效电抗，第三项中括号内为等效电感。线圈的品质因数Q为 ?2M2
?[L1?L22]R2??2L2
2 （3） Q?22?MR1?R22R2??2L2
2
由上不难看出，金属导体的电阻率ρ、磁导率μ、线圈与金属导体之间的距离x以及线圈激励电流的角频率ω等参数，都将通过电涡流效应与线圈等效阻抗发生联系。或者说．线圈等效阻抗是这些参数的函数，即
Z?f(?,?,x,?) （4）
若能保持上述?、?、x、?四个参数中的任意三个参数恒定，则等效阻抗将与第四个参数之间建立一一对应的关系，构成了从第四个参数到等效阻抗之间的转换关系。
利用位移x作为变换量，可以非接触的测量位移、厚度、振动、转速等，也可做成接近开关等。图3为电涡流位移传感器的几种具体应用。图(a)为轴的轴向位移的测量，图(b)为先导阀或换向阀位移测量，图(c)为金属热膨胀系数测量。测量位移范围可从0~1mm到0~30mm．分辨率为满量程的0.1%。
图3 电涡流位移传感器的几种具体应用
图4为利用电涡流传感器测量转速的电路框图。在被测对象上开一条或数条槽或做成齿状，旁边安装一个电涡流式传感器。当转轴转动时，传感器周期地改变着与转轴之间的距离，于是它的输出也周期性地发生变化。此输出信号经放大、变换后，可以用频率计测
) ，出其变化频率，从而测出转轴的转速。若转轴上开Z个槽，频率计读数为f （单位为Hz
则转轴的转速n（单位为r/min ）的数值为n=60f/Z
。
图4 利用电涡流传感器测量转速
2
209综合实验
实验仪器
CSY10B型传感器系统实验仪（电涡流传感器、电涡流变换器、测微头、电压/频率表、差动放大器、电桥、测速电机及转盘）、三种金属涡流片（铁、铜、铝）、示波器、砝码等 实验内容与步骤
一、电涡流传感器的传感特性和静态标定
1、 按照图5安装好电涡流线圈和金属涡流片，注意二者必须保持平行（必要时可稍许调整探头角度）。安装好测微头，将电涡流线圈接入涡流变换器输入端，涡流变换器输出端接电压表20V
档。
2、 开启仪器电源，用测微头将电涡流线圈和涡
流片分开一定距离，此时输出端有一电压值输出。
将示波器接涡流变换器输入端，观察电涡流传感
器的高频波形。信号频率约1MHz。
3、用测微头带动振动平台使平面线圈完全贴紧金
属涡流片，此时涡流变换器的输出电压为零，涡
流变换器中的振荡电路停振。 图5 电涡流传感器标定
4、 旋动测微头是平面线圈离开金属涡流片，从电压表开始有读数起每位移0.25mm记录一个读数，并用示波器观察高频振荡波形。将被测位移X、输出电压V的读数填入下表，作出V～X曲线，指出线性范围，找出其最佳工作点并求出灵敏度。
表格1 被测位移X与输出电压V关系 被测位移mm
输出电压V
注意事项：
当涡流变换器接入电涡流线圈处于工作状态时，接入示波器会影响线圈的阻抗，使变换器的输出电压减小（如果示波器探头阻抗太小，甚至会使变换器电路停振而无输出），或是使传感器在初始状态有一死区。
二、被测材料对电涡流传感器特性的影响
1、 按内容一的方法重新安装好传感器，开启电源。
2、 分别对铁、铜、铝被测体进行测量，记录被测位移X、输出电压V的读数。
3、 依据所记录的数据，在同一个坐标下作出涡流传感器对不同被测材料的
V～X曲线。 4、 分别找出传感器对各种被测材料的线性范围、灵敏度、最佳工作点，并进行比较。可得出结论：对于不同被测材料，涡流传感器的灵敏度、线性范围都不相同，必须分别进行标定。
三、电涡流传感器的振幅测量
1、 按图6接线（具体接线参见后面的附图2）。
图6 电涡流传感器称重
3
209综合实验
根据实验内容二的结果，将平面线圈安装在最佳工作点，直流稳压电源置±10V档，差动放大器在这里仅作为一个电平移动电路，增益置最小处（1倍）。调节电桥电路的WD，使系统输出为零。
2、 接通“激振器I”， 调节低频振荡器频率，使其在10～30Hz范围内变化，用示波器观察涡流变换器输出波形，记下VP-P值，同时利用实验内容一的结果求出距离变化范围XP-P。3、可同时用双踪示波器的另一通道观察涡流变换器输入端的调幅波。
4、变化低频振荡器频率和幅值，提高振动圆盘振幅，用示波器可以看到变换器输出波形
有失真现象，这说明电涡流式传感器的振幅测量范围是很小的。
频率(Hz) VP-P(v)
四、用电涡流传感器称重
1、 按图6接线（具体接线参见后面的附图2）。
2、 差动放大器增益调为1，输出接电压表20V档。利用实验内容一的结果，将平面线圈安装在线性工作范围的起始点。调整电桥，使系统输出为零。
3、 在测量平台中间逐步增加砝码，记录被测重量W和输出电压值V。
被测重量g 输出电压V
4、 依据所测量的对应数据，作出传感器特性（V～W）曲线，计算灵敏度。
5、 取下砝码，放上未知重量之物品，根据标定曲线计算被测物重量，并计算绝对误差、相对误差、引用误差、精度等级。 五、电涡流传感器测量电机转速
1、 将电涡流传感器线圈支架转一角度，安装于电机转盘上方，线圈与转盘面平行，在不摩擦的前提下距离越近越好。
2、 如图7所示，电涡流线圈与涡流变换器相接，涡流变换器输出接示波器，开启电机开关，调节转速，同时调整平面线圈在转盘上方的位置，通过示波器观察，使变换器输出的脉动波对称。
图7 电涡流传感器测转速
3、 仔细观察示波器两相邻波形的峰值是否一致，
如有差异，说明平面线圈与转盘或者不平行、或者电机本身存在振动。利用已经获得的铁材料涡流片特性曲线可大致判断转盘面与线圈的不平行度。
4、 将电压/频率表2kHz档接入涡流变换器输出端，读取脉动波形变化的周期数值，并与示波器读取的频率作比较。转盘的转速=脉动波形数÷2。 注意事项
1、 认真检查电路接线，开关倒向，仪表量程等，各信号源之间严禁用连接线短路，确认
无误后再接通电源。
2、 在实验过程中，如发现异常火花、异声、异味、冒烟或过热等现象，应立刻断开电源开
关，保持现场，请指导教师一起检查原因。
3、 实验结束应先断开电源开关，然后才能拆线，切忌带电插拔导线。 4、 离开实验室前应整理好实验仪器、连接导线等实验器材。
4
209综合实验
附 图
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