-海南大学材料与化工学院
专业实验报告
课程:材料表面工程 学院：材料与化工 年级/专业：10材料2班 日期：20xx年5月20日
图五 矩形平面靶安装结构示意图
三、仪器与设备
磁控溅射镀膜机 玻璃片 镊子 手套 橡胶球
四、实验步骤（括号里的时间为该操作所对应的时间）
1、开相关设备的电源，并开冷却水和空压机；
2、打开放气阀，待没有气压声时打开真空室大门；
3、把玻璃样品安放在靶台的适当位置，关闭真空室大门；
4、关闭放气阀，打开机械泵控制电源，然后打开旁抽阀（10:14:56直到真空度低于5Pa；
5、关闭旁抽阀（10:22:07），打开前级阀，开分子泵电源，逐渐打开翻板阀（10:22:21）开始抽真空，此时分子泵的转速为8400r/s，频率为135Hz。当真空度为3×10-3Pa分子泵转速为2700r/s，频率为450Hz，电压55V，电流3.3A（10:29:00）；
6、打开氩气瓶和对应的MCF控制阀，MCF流量显示仪打到阀控位置，然后调节流量为20SCCM（即标况下20mL/min），此时真空室气压为5.5×10-2Pa缓慢调节翻板阀开口的大小，调节真空室气压至1到2Pa之间（本实验为1.6Pa）；
7、打靶台挡板开直流电源开关，调节功率（10:33:00），可以观察到，当为10W左右时，开始出现辉光，并且辉光呈绿色，并随功率的增大颜色变亮；
8、开样品挡板开始溅射（10:35:00）；
9、停止溅射（10:38:00）：将功率逐渐调制0，并关闭溅射电源，关闭氩气瓶（10:38:36和对应的MCF控制阀；关闭翻板阀（10:39:41），关闭分子泵电源（10:39:41），直到分子泵频率和转速都降为0时，关闭前级阀；关闭机械泵；
10、开放气阀（10:46:00），直至没有气流声，然后打开真空室大门，取出样品，可观察到玻璃样品上已镀上一层银白色的膜。
11、关闭真空室并将其抽至低真空，然后关闭空压机、水冷系统等，并切断总电源。
五、实验结果
第二篇：磁控溅射镀膜中工艺气体流量的调整
