切割车间实习报告
实习内容:了解半导体集成电路后工序加工的概念,掌握晶圆的减薄、切割、挑片,检查品保等工序。
实习时间:20xx.06.05
报告人 :周少文
一、 减薄
晶圆减薄设备型号:DFG841 厂商:日本 迪斯科
减薄流程:来料检查----贴膜-----磨片粗磨------磨片精磨------清洗------有背胶的需烘烤 减薄工艺水平:4-8 inch ,12inch需分割成4块,最薄至100um。
通常客户来料700um左右,要求减薄到400um左右
产能:500片/天, 2-2.5万圆片/月减薄生产周期:2分钟/片
影响减薄价格的因素:晶圆尺寸大小、晶圆厚度、贴膜选择、材质,是否为二次加工,是否长晶球,客户是否有特殊要求
作用:通过减薄/研磨的方式对晶片衬底进行减薄,改善芯片散热效果,加强导电性能。
减薄到一定厚度有利于后期封装工艺。
二、切割
切割设备型号及数量:DFD651 5台 DAD321 5台 A-WD-100A 3台
晶圆切割能力:4-12inch
划片道最小至40um ,通常60um—80um
产能:400-- 500片/天,周期:20min/片 具体根据切片大小
影响切割价格因素:晶圆尺寸、晶圆厚度、材质、芯片密集度、时间、膜的选择、客户其他特殊要求(切割过程防腐蚀,泰维克纸)
全切,半切区别:半切为晶圆不需要切穿,留1/4左右,全切为晶圆需要切穿。 MPW切割:小块多个种类产品的切割,价格比较高。
三、挑片
自动取片机型号及数量: 8015-S 4台,KS-900 4台,650B 2台,快速机 7台。
产能:2.亿芯片/月8015---3K/小时, 650B---6K/小时, KS-900—6K/小时,super-ds---8K/小时,HANS-3291---12K/小时
取片种类:打点取片,MAP图 取片
影响挑片的价格因素:晶圆尺寸、IC大小、时间
四、检查,品保
来料检验控制:客户来料经过IQC检查,不良品过多,异常时及时反馈给客户,避免造成客户认为是加工过程产生的不良品,给公司造成赔偿损失。
首先由镜检 100% 检查----- 然后QC 10%抽检----- QA 根据抽样标准抽检
检查项目:压伤,腐蚀,铝划伤,崩边,沾污等。检查仪器:显微镜
包装:填盘(方向问题)-----垫膜------拉胶纸------贴标签-----抽真空