进口设备采购性能价格比较表
比较：
硬件配置方面：TEMPRESS TS61004扩散炉、CENTROTHERM E 2000 HT 270-4扩散炉和SVCS公司扩散炉硬件配置均满足五分厂工艺要求，SPIKE五点控温有利于工艺稳定性，且Profile TC已配全；恒温区达到1000mm，产能400片/炉；
均匀性方面： TEMPRESS均匀性只保证49点/片，片内≤3％片间≤3％炉间≤3％，无法满足五分厂提出的工艺要求， CENTROTHERM和SVCS公司扩散炉虽都能满足49点/片，片内≤2％片间≤2％炉间≤2％的工艺要求, 但SVCS在干氧1150℃可达到500A，而CENTROTHERM只保证800A；
实际应用方面；CENTROTHERM和TEMPRESS在五分厂DMOS上均有使用，但TEMPRESS炉原来是三温区的，炉体腔体部分采用整体风冷，SPIKE TC外部使用补偿导线，控温精度只
承诺0.5度。CENTROTHERM为五温区，且各管间采用水冷，管间温度影响小，SPIKE TC外部补偿使用100%白金制作，控温精度可达到0.25度。SVCS也使用各管间水冷，但SPIKE TC外部也使用补偿导线，控温精度虽也保证0.25度，但在五分厂未有使用，其工艺稳定性无法考证；
市场占有方面：CENTROTHERM和TEMPRESS相当，在太阳能和半导体市场均有使用，而SVCS进入市场相对较晚，主要用于国外太阳能市场；
价格方面：TEMPRESS 691，978欧元，CENTROTHERM 643,000欧元，SVCS 570,000欧元，SVCS有较大优势；
交货时间方面：CENTROTHERM明年4底月可交货，SVCS和TEMPRESS都要明年6月交货；保修期方面：SVCS18个月，CENTROTHERM和TEMPRESS 同为12个月；
综合考虑：采购同型号扩散炉有利于和现有工艺的匹配，CENTROTHERM炉目前在五分厂DMOS工艺使用情况良好，且交货期短，而SVCS炉虽然价格优势较大，但未使用认证过，与现有工艺匹配存在较大风险，且交货期长，在商务谈判时如CENTROTHERM价格接近SVCS，建议采购CENTROTHERM扩散炉。
扩散工段
2010-11-19
第二篇：比价报告模板
比价报告
项目名称
采购经理项目经理