气相沉积实验报告

 一、实验目的：

1、掌握真空的获得与测量技术

2、懂得预处理对真空镀膜技术的重要性及常见的预处理设备及流程。

2、了解中频磁控溅射镀膜的工作原理、设备、特点、工艺过程、适用范围。

3、掌握磁控溅射镀膜原理、设备、特点、工艺过程及使用特点。

4、了解反应磁控溅射的特点、靶打火和阳极消失的原因及抑制措施。

5、运用磁控溅射镀膜技术在玻璃载玻片上镀上铜膜。

二、实验设备：

1、    预处理生产线。

2、    中频磁控溅射镀膜机。

三、实验要求：

1          了解预处理对真空镀膜技术的重要性及常见的预处理设备及流程。

2          了解多弧离子镀的工作原理、设备、特点、工艺过程、适用范围。

3          了解多弧离子镀薄膜的特点、液滴的抑制措施。

4          了解磁控溅射镀膜原理、设备、特点、工艺过程及使用特点。

5          了解反应磁控溅射的特点、靶打火和阳极消失的原因及抑制措施。

四、实验步骤：

A)  打开总电源；

B)  开冷水机、气泵、开维持泵、维持阀；

C)  样品预处理（详见3.2）；

1、热清洗剂溶液中超声清洗（除油污）  50℃       3min

2、热清洗剂溶液中超声清洗（除污垢）  50℃       2min

3、自来水充分漂洗两次                 常温       30sec

4、去离子水漂洗两次                   常温       20sec

5、第一次酒精脱水                               2min

6、第二次酒精脱水                               2min

7、吹干或烘干                 （80-120℃）

D） 装炉，关炉门；

E)  开机械泵、上阀对真空室抽气；

F)  当机械泵把真空室中的大气抽到1000 Pa时，开分子泵；

G)  当真空室的气压被抽到2 Pa时，关上阀，开高阀，用分子泵抽高真空。

H)  当真空室的气压被抽到1×10-2Pa时，即可在基体上沉积TiN薄膜；

I)  沉积过程（详见3.3）；

J)  沉积完毕后关掉磁控溅射靶冷却；

L)  待温度至80℃左右，开炉取样。

五、实验结果：

1、试验成果

本实验成功在两块玻璃基底上，用磁控溅射方法得到铜薄膜。

2、基片加热过程中真空度的变化

基片加热过程中随着温度上升，气压迅速升高，随后气压降低至不变，至温度稳定后，气压持续降低。

3、  镀膜速率与溅射气压的关系

   用30秒内膜厚度的增长量来度量溅射速率，在溅射电流I=0.1A ，靶磁场电流I=1.5A的条件下，在一定范围内，溅射气压越大，溅射速率越小。

4、镀膜速率与溅射功率的关系

  用60秒内膜厚度的增长量来度量溅射速率，溅射气压P=1.3Pa，靶磁场电流I=1.5A，在一定范围内，溅射电流（溅射功率）越大，溅射速率越大，且成线性关系。

5、

请简要写出自己的实验步骤：

六、实验结果分析：

七、结论

评分标准：

一、             《实验报告》评分标准如下：（占总成绩的10％）

1、  实验的目的；                                                ( 1.0分)

2、  实验的设备；                                                ( 1.0分)

3、  实验的步骤；                                                ( 2.0分)

4、  实验的结果；                                                ( 2.5分)

5、  实验结果分析               ( 2.5分)

6、  实验结论。                                                  ( 1.0分)

第二篇：dfs-service-辅导课的教案

《写童话故事》作文的教案

教学目标

1、了解童话故事的基本特点，鼓励学生大胆展开想象。

2、通过抓读写联系，初步掌握编写童话的最基本方法。 教学重点：初步掌握编写童话故事的最基本方法。

教学难点：鼓励学生大胆展开想象，编写生动有趣的童话故事。

教学准备：多媒体各种动物图片

课型：作文指导课

设计理念

作文教学应从学生生活出发，选取他们熟悉的题材，营造快乐轻松的课堂。本次习作就是通过创设情境，点拨引路，自选材料等一系列充满童心童趣的教学环节，积极创设生趣盎然的童话氛围，让学生在轻松活泼的氛围中完成“思维——文字”的转化，做到“我手写我口，我手写我心”。

教学过程：

谈话导入：同学们，我们学过童话故事，你们喜欢童话故事吗？你对童话有什么印象？师你们都听到过哪些童话故事呢你想不想当一个小作家写出自己的童话呀？

生1：我们二年级时学过童话故事《狼和小羊》。

生2：还有《骄傲的孔雀》、《骆驼和羊》、《陶罐和铁罐》。

总结：结合我们知道的童话故事，想一想这些童话故事都有些什么特点？

板书：想像大胆奇特情节生动有趣拟人化手法语言通顺连贯获得一点启迪

指导：再想想本单元学过的、以前读过的、喜欢的童话故事，是不是也符合这些要求？

过渡导入，师：其实，大家的头脑就像一个巨大的魔方，当魔方转动的时候就能产生许许多多的创意和联想。同学们，我们也来奇思妙想一番，进行一次童话故事创作好不好？

二、明确要求，学会方法

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1.出示习作题目——编童话（板书）

2.明确要求：幻灯出示写童话段落，生阅读。

指导：根据童话的特点和这段话的提示，你认为本次习作要有哪些方面的要求呢？

板书：选择事物：熟悉、相关、喜欢

确定中心：有益的道理或情感

展开想象：大胆、神奇、变幻

编写故事：流畅、自然、优美

3.学会方法：

今天老师带来一个童话故事，你们想听吗？

要求，每个同学都要认真地听，在听的过程中还要帮我解决问题，可以吗？……（教师说完后，把准备好的三个不同颜色的氢气球逐个放出来，然后抓住其中一个）

师：（用很神气很骄傲的语气）我是一个漂亮的气球，每天都穿着漂亮的衣服，自由自在地飘来飘去，想去哪里就去哪里，生活过得无忧无虑，别提有多开心了！小朋友们，你们觉得我漂亮吗？ 同学们，气球现在肯定是在快乐地飘着，大家想一想，气球可能会飘过哪里?在那里会碰见什么事物?

学生讨论议一议

师：我想那些气球肯定会到过很多地方，而且碰见很多新鲜的事物。也许那一个红气球飘呀飘呀，来到一片绿油油的菜地上空。它低头一看，满地碧绿的青菜，正躺在地上睡大觉呢。它再仔细一看这片绿色，唯有自己是红色的，觉得自己鲜艳的颜色美得很。它很想显示一下自己美丽的外表，于是，它清了清嗓子，对长在地上的青菜们大声地说……红气球会大声地说什么?

生1：喂，小家伙们，你们知道我是谁吗?

生2：你们快抬起头来看看，我是赫赫有名的红气球先生。 师：红气球的大嗓门把青菜们都给吵醒了，一个个抬起头来惊奇地望着它，而红气球发现大家都抬起小脑袋瓜子在认真听它说话，就更来神了。

2

（教师和学生处于平等的位置，教师希望得到学生的帮助，学生自然跃跃欲试。）

4.师生齐编童话故事。

师：此时的红气球呀很想向大家炫耀自己的美，炫耀自己站得高，炫耀自己无忧无虑，同学们想像一下，它可能又会对青菜们说什么?而青菜们又是怎样表现的?结果呢?请与你的同桌交流交流，可以加上动作神态来说，把这个故事编完。 学生合作交流。教师巡视引导。

5.汇报齐编故事情况。(请几名学生站起来说说)

三、扩展思路，创编故事

师：今天老师和同学们一起编了这个童话故事，目的是为了给同学们做一个抛砖引玉的作用，其实大家可以写的事物还有很多，比如老师提供的这几组。

幻灯出示：(1)蒲扇和空调；(2)鼻子、耳朵、眼睛和嘴巴；（3）小溪、河流、大海；（4）红花和绿叶；(5)铅笔、橡皮、转笔刀。（6）炉灶、水壶、铁铲

1.学生齐读这几组事物。

2.指名说说你想写哪一组事物，打算写什么。

3.在这些动物或物品之间会发生什么事情呢？请小组同学共同编一编，注意说清楚事情发生的起因、经过和结果。

4.生小组创编，师巡视。

5.全班交流评价。

6.教师小结：要把故事编的生动有趣，就要抓住人物的语言、动作、表情、心理。还要在交待时间、地点时，说一说天气怎样，周围的环境怎样。

（小组合作创编故事，互相评价，目的是尽可能的让每一个学生动口、动脑，互相学习，培养合作能力。）

四、拟题编写

1.谈话：题目是习作的眼睛，拟定一个好题目非常重要，习作的内容紧扣着题目展开，那么你编写的童话故事就成功了。现在请同 3

学们拟定好童话故事的题目，再围绕它把自己想像的童话故事写下来吧。

2.生编写童话故事。

（学生在交流中开启了思路，在比较中选定了材料，在激趣中唤起了对写作实践的强烈欲望。这里，教师引导学生认定习作目标，把握表达要点，使学生在轻松快乐的氛围中实现了“思维——文字”的转化。）

五、小结：

同学们，你们不仅会听、会看童话故事，还会编童话故事了呢？如果不是亲耳所闻，亲眼所见，老师还真不敢相信这些生动有趣的童话故事的作者竟然是你们，哇，真了不起！

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