微电子纳米加工与测试技术重点实验室对外开放
实验室可以提供万级净化环境的装配车间，千级及10级的净化坏境，纳米级工艺设备和测
试仪器可以提供对外加工服务，可以进行项目合作开发，为高校及研究单位提供实习实践基
地等，我们随时欢迎您的到来！
单位： 中国科学院微电子研究所-微电子技术设备研究室 联系人： 邢建鹏 任爱
联系电话：010-82995842
Email:xingjianpeng@ime.ac.cn
以下是仪器设备清单,还有其它未列入的工艺设备，条件允许均可对外加工。
序号 仪器名称 仪器型号 收费标准
工艺设备
1 磁控溅射台 SP-3 开机费300元+500元/样品
2 等离子体浸没式离子注入机 PIII-100 开机300元+500元/样品
3 紫外光刻机 URE-20xx/A 400元/小时
4 匀胶机 KW 2寸或小于2寸片30元/片；4寸片80元/片；6寸片150元/片。
5 显影工艺加工（含热板） 100元/小时
6 可编程数字热板 Echo Therm 50元/小时
7 快速退火炉 AW810M 160元/小时,O2工艺200元/小时，O2流量不得大于2.5L/min
8 硅片清洗机 SFQ-1508T 300/次
9 旋转冲洗甩干机 CXS-2200B 100/次
10 零件超声清洗机 100/次
测试仪器
11 原子力显微镜 Veeco Dimension D3100 AFM 开机费300元， 300元/点
12 激光共焦显微镜 OPLYMPUS LEXT OSL 4000 开机第一个小时300元，往后每30分钟
100元
13 台阶仪 P6KLA-Tencor 50元/点
14 椭偏仪 UVISEL 2 法国HORIBA Scientific 开机费300元， 300元/点，对特殊样品
收费另议
15 四探针电阻测试仪 CRESBOX 100元/样品
16 显微镜 奥林巴斯BX51 50元/小时
17 显微镜 奥林巴斯MX61 80元/小时
18 高精度电子天平 METTLER TOLEDO 50元/小时
19 同步热分析仪 STA449F3德国NETZSCH 开机第一个小时500元，往后每30分
钟100元
20 太阳能电池IV测试仪 SOL3A Newport 200元/样品
21 光学轮廓仪 MICRO XAM1200 300元/样品
22 傅立叶红外光谱仪 VERTEX 70V德国布鲁克 300元/样
第二篇：机械工程测试技术重点总结
1交流电桥与直流电桥的主要区别在哪些方面？
（1）桥臂源一个用交流，一个用直流（2）直流电桥用来测量电阻，直流电压，直流电流 交流电桥可测量电阻，电容，电感，交流电压，交流电流，还可以测量材料的介电常数,电容器的介质损耗,线圈间的互感系数和耗合系数,磁性材料的磁导率和液体的电导率。 2什么是幅频特性曲线，他是谁对谁的函数？
在放大器中,放大倍数随频率变化的关系为Au(jω)=V0Vi=V0Viejφ=Au(ω)ejφ(ω)式中Au(ω)表示电压放大倍数的大小和频率之间的关系,称为幅频特性放大电路的电压放大倍数与频率的关系称为幅频特性。x轴是频率f，y轴是信号频率响应的幅度|S(f)|
3.周期信号与非周期信号的频谱图有什么差别？
周期信号的频谱是离散谱，最低的那条表示基波；非周期信号的频谱是连续谱。 离散，谐波，收敛
周期信号频谱的物理含义是什么?
周期信号的频谱反映了信号中各个频谱分量的相对大小
周期信号和非周期信号的频谱图各有什么特点?他们的物理意义有和不同
周期信号的频谱是离散的，而非周期信号的频谱是连续的，两者的数学推导方法不同，物理意义自然不同，周期信号表示成傅里叶级数形式，对应的频率分量的系数就是该频率分量的具体幅值，非周期信号借鉴了傅里叶级数的推导方式，将周期推广到了无穷大，得到了傅里叶变换，傅里叶变换得到的是频谱密度函数，每个频率点对应的数值并不是信号在该频率上分量的实际幅值，必须要除以信号的周期（即无穷大）才是实际幅值，所以可以说非周期信号在任意频率分量上的幅值都是零
4.传递函数和频率响应函数的区别？
传递函数是系统的物理参数，也就是它受硬件决定，不会随着输入变化而变化，是分析系统的一个数学公式，而频率响应函数是输出函数，也就是说系统的传递函数乘上输入的信号，而得到的频率响应函数（当然是在频域中分析）。
传递函数H(s)与频率响应函数的关系:在系统传递函数H(s)已经知道的情况下，令H(s)中s的实部为零，即s=jω便可以求得频率响应函数H(ω) 。
频率响应函数的物理意义:频率响应也就是当频率为的正弦信号作为某一线性系统的激励(输入)时，该系统在稳定状态下的输出和输入之比(不需要进行拉普拉斯变换)。因此，频率响应函数可以视为测试系统对谐波信号的传输特性。
5.理想测量系统，不是真条件，物理意义
理想的测量系统在每次使用时，应只产生“正确”的测量结果。每次测量结果总应该与一个标准值相符。一个能产生理想测量结果的测量系统，应具有零方差、零偏倚和所测的任何产品错误分类为零概率的统计特性。
系统要实现动态测试不失真，其幅频特性和相频特性应满足下列条件：
A(w)=A0 (A0为常数)
Φ(w)=-t0w(为常数)
6测试装置的静态特征有哪些？（线性度、灵敏度、回程误差、分辨力、零点漂移、灵敏度飘移）
7.线性定常系统的物理特征,有何价值
特性不随时间改变的线性系统。它是定常系统的特例，但只要在所考察的范围内定常系统的非线性对系统运动的变化过程影响不大，那么这个定常系统就可看作是线性定常系统。对于线性定常系统，不管输入在那一时刻加入，只要输入的波形是一样的，则系统输出响应的波形也总是同样的。线性定常系统的分析和设计均比时变系统或非线性系统容易得多，是自动控制理论中最成熟的部分。
8传感器的种类有哪些？
（1）根据输入物理量可分为：位移传感器、压力传感器、速度传感器、温度传感器及气敏传感器等。
（2）根据工作原理可分为：电阻式、电感式、电容式及电势式等。
电阻式：把位移、力、压力、加速度、扭矩等非电物理量转换为电阻值变化的传感器。它主要包括电阻应变式传感器、电位器式传感器(见位移传感器)和锰铜压阻传感器等
（3）根据输出信号的性质可分为：模拟式传感器和数字式传感器。即模拟式传感器输出模拟信号，数字式传感器输出数字信号.
（4）根据能量转换原理可分为：有源传感器和无源传感器。有源传感器将非电量转换为电能量，如电动势、电荷式传感器等；无源程序传感器不起能量转换作用，只是将被测非电量转换为电参数的量，如电阻式、电感式及电容光焕发式传感器等。
9.接地方式有几种 ，分别用在什么场合？
答:有四种1单点接地2串联接地3多点接地4模拟地和数字地工作接地按工作频率而采用以下几种接地方式：
（1 ）单点接地
工作频率低（<1MHz）的采用单点接地式
（2） 多点接地
工作频率高（>30MHz）的采用多点接地式
（3 ）混合接地
工作频率介于1～30MHz的电路采用混合接地式。当接地线的长度小于工作信号波长的1/20时，采用单点接地式，否则采用多点接地式。
（4 ）浮地
浮地式即该电路的地与大地无导体连接。其优点是该电路不受大地电性能的影响； 10滤波器的种类，参数，理想滤波器，理想滤波器与实际的差别？
根据要滤除的干扰信号的频率与工作频率的相对关系，干扰滤波器有低通滤波器、高通滤波器、带通滤波器、带阻滤波器等种类。
主要参数：中心频率，截止频率，通带带宽，插入损耗纹波，带内波动
理想滤波器是指能使通频带内信号的幅值和相位都不失真，阻带内的频率成分都衰减为零的滤波器，其通带和阻带之间有明显的分界线。也就是说，理想滤波器在通带内的幅频特性应为常数，相频特性的斜率为常值；在通带外的幅频特性应为零
实际滤波器的频域 图形不会在某个频率上完全截止， 而会逐渐衰减并延伸到∞。理想滤波器是不存在的，在实际滤波器的幅频特性图中，通带和阻带之间应没有严格的界限。在通带和阻带之间存在一个过渡带。在过渡带内的频率成分不会被完全抑制，只会受到不同程度的衰减。
11.信号调制与解调的种类
从大类上分：
1、模拟调制
（1）模拟调制：调幅AM、DSB、SSB、，调频FM，调相PM
（2）脉冲调制：脉冲幅度PAM，脉冲相位PWM，脉冲编码PCM；
（3）复合调制：正交幅度调制QAM；
2、数字调制
通断键控ASK，频移键控FSK，相移键控PSK
解调方式：（1）检波法，适合AM；（2）同步解调，适合大部分调制。 12.什么是信号调理电路 信号调理电路，把模拟信号变换为用于数据采集、控制过程、执行计算显示读出或其他目的的数字信号 1.放大2.衰减3.隔离4.多路复用5.过滤6.激励，7.冷端补偿 这个电流源将电阻的变化转换成一个可测量的电压。应变计，一个超低电阻的设备，通常利用一个电压激励源来用于惠斯登（Wheatstone）电桥配置。 12.超声波的概念及特征： 超声波是频率高于20xx0赫兹的机械波，它方向性好，穿透能力强，在介质中传播能量大，易于获得较集中的声能