北京师范大学珠海分校 大学物理实验报告 实验名称:杨氏弹性模量的测定 院专 业 学 号 姓 名 同组实验者 2012 年 月 日
实验名称
一、实验目的 。。。。 。。。。。
二、实验原理 。。。。 。。。。。。
三、实验内容与步骤 。。。。 。。。。。
四、数据处理与结果 。。。。 。。。。。
五、附件:原始数据
****说明:
第五部分请另起一页,将实验时的原始记录装订上,原始记录上须有教师的签名。
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北京师范大学珠海分校 大学物理实验报告 实验名称:杨氏弹性模量的测定 院专 业 学 号 姓 名 同组实验者 2012 年 月 日
实验名称
一、实验目的 。。。。 。。。。。
二、实验原理 。。。。 。。。。。。
三、实验内容与步骤 。。。。 。。。。。
四、数据处理与结果 。。。。 。。。。。
五、附件:原始数据
****说明:
第五部分请另起一页,将实验时的原始记录装订上,原始记录上须有教师的签名。
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实验报告
课程名称:_______________________________指导老师:________________成绩:__________________
实验名称:_______________________________实验类型:________________同组学生姓名:__________
一、实验目的和要求(必填) 二、实验内容和原理(必填)
三、主要仪器设备(必填) 四、操作方法和实验步骤
五、实验数据记录和处理 六、实验结果与分析(必填)
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电子科技大学
学生姓名:王建林学 号:指导教师:周海平
日 期:实 验 报 告 2011171020014 2014 年 05 月 23 日
一、实验室名称:研究院大楼324A
二、实验项目名称:磁控溅射实验;紫外-可见-近红外分光光度计实验
三、实验原理:
(一)磁控溅射实验
1.磁控溅射工作原理和过程
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar和新的电子;新电子飞向基片,Ar在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子会受到电场和磁场作用,产生E(电场)×B(磁场)所指的方向漂移,简称E×B漂移,其运动轨迹近似于一条摆线。若为环形磁场,则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动,它们的运动路径不仅很长,而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内,并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材,从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加,二次电子的能量消耗殆尽,逐渐远离靶表面,并在电场E的作用下最终沉积在基片上。由于该电子的能量很低,传递给基片的能量很小,致使基片温升较低。 磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程,和靶原子碰撞,把部分动量传给靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量,离开靶被溅射出来。
溅射时入射粒子由气体放电产生,所谓气体放电是指电流通过气体的现象,气体放电将产生等离子体。一般是利用辉光放电,根据所加电场的不同,又分为直流辉光放电、射频辉光放电,而其他如三极溅射、磁控溅射时的辉光放电都是在此基础上的改进。
而辉光放电是指在低气压(1~10Pa)的稀薄气体中,在两个电极间加上电压时产生的一种气体放电现象。
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实验报告
课程名称: 指导老师: 成绩:
实验名称: 实验类型: 同组学生姓名:
一、实验目的和要求(必填)
三、主要仪器设备(必填)
五、实验数据记录和处理
七、讨论、心得
二、实验内容和原理(必填)
四、操作方法和实验步骤
六、实验结果与分析(必填)
一、实验目的和要求
二、实验内容和原理
三、主要仪器设备
实验名称:_ __________________姓名: 学号:
四、操作方法和实验步骤
实验名称:_ __________________姓名: 学号:
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